Статьи автора

Микроструктурирование аморфных теллуридных пленок фемтосекундными лазерными импульсами

Номер выпуска 1–2 от 17.01.2025

Лазерно-индуцированные периодические поверхностные структуры (ЛИППС) из чередующихся линий аморфной и кристаллической фаз в тонкопленочных халькогенидных фазопеременных материалах перспективны для приложений в перестраиваемых энергонезависимых фотонных устройствах. В работе рассмотрена фемтосекундная модификация аморфных пленок халькогенидных соединений Ge₂Sb₂Te₅, GeTe и Sb₂Te₃. Анализ закристаллизованных областей и областей формирования ЛИППС проводили с помощью эллипсометрии, оптической и атомно-силовой микроскопии, а также спектроскопии комбинационного рассеяния. В узком диапазоне плотностей энергий фемтосекундных импульсов в пленках GeTe и Ge₂Sb₂Te₅записаны аморфно-кристаллические ЛИППС, в то время как в Sb₂Te₃двухфазные периодические структуры не формировались ни при каких значениях плотности энергии.

25 0