By this author

ПОЛУЧЕНИЕ ВЫСОКОКАЧЕСТВЕННЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ ИЗ КОМПОЗИЦИОННОЙ КЕРАМИКИ YO–MgO

Issue number 9-10 from 24.03.2026

В работе исследованы процессы полирования двухфазной керамики YO–MgO с целью повышения качества ее поверхности для оптических применений. Проведен сравнительный анализ трех методов обработки: механического, химико-механического и магнитореологического полирования. Последовательное применение этих подходов, включающее предварительное глубокое шлифование-полирование для устранения нарушенного слоя, позволяет существенно улучшить чистоту и точность обрабатываемой поверхности. Финальное магнитореологическое полирование обеспечивает достижение средней шероховатости () 0.6 нм, среднеквадратичного отклонения (RMS) 0.8 нм, чистоты поверхности 2-го класса по ГОСТ 11141-84 и точности формы оптических элементов до λ/4. На основе полученных результатов были изготовлены опытные оптические элементы, удовлетворяющие современным требованиям для широкого спектра оптических приложений.

9 0