By this author

Синтез гетероструктур AlGaInSbP/InP(100) из раствора-расплава методом зонной перекристаллизации градиентом температуры и их свойства

Issue number 8 from 01.08.2024

Методом зонной перекристаллизации градиентом температуры впервые синтезированы пятикомпонентные твердые растворы AlGaInSbP на подложке InP. Выполнен термодинамический анализ выращенных твердых растворов, определен состав, кристаллическое совершенство, а также измерены спектры фотолюминесценции. Термодинамический анализ твердых растворов Al_xGa_yIn_1–x–ySb_zP_1–z показал, что при 0.01 ≤ x ≤ 0.3, 0.0 ≤ y ≤ 1.0 и 0.0 ≤ z ≤ 0.6 они являются изопериодическими. В области составов 0.0 ≤ x ≤ 0.1, 0.0 ≤ y ≤ 1.0 и 0.2 ≤ z ≤ 0.7 твердый раствор склонен к спинодальному распаду. Методами линейной интерполяции рассчитаны параметры гетерофазных равновесий в системе Al_xGa_yIn_1–x–ySb_zP_1–z –InP в приближении регулярных растворов и выявлены области составов прямозонных (Г₈→Г₅) переходов при x = 0.1, 0.0 ≤ y ≤ 0.9, 0.0 ≤ z ≤ 1.0 и непрямозонных (Г₈→X₅) переходов при x = 0.1, 0.5 ≤ y ≤ 0.9, 0.0 ≤ z ≤ 0.7. Установлено, что в температурном интервале 773 ≤ T ≤ 973 K, градиентах температуры 10 ≤ G ≤ 80 K/см, толщине жидкой зоны 100 ≤ l ≤ 300 мкм эпитаксиальные слои AlGaInSbP имели шероховатость ~6 нм и высокое кристаллическое совершенство (B_H/2 ≈10″).

57 0