Статьи автора

Структуро- и фазообразование в системах Ti–Al–Mo–N и Ti–Al–Mo–Ni–N при осаждении покрытий ионно-плазменным вакуумно-дуговым методом

Номер выпуска 4 от 01.04.2023

Методом arc-PVD получены покрытия Ti–Al–Mo–N и Ti–Al–Mo–Ni–N, характеризующиеся наноструктурой и слоистой архитектурой. Установлены значения параметров осаждения (давления реакционного газа-азота и отрицательного потенциала смещения, подаваемого на подложку, определяющего энергию напыляемых частиц), позволяющие формировать двухфазное нитридное (TiN, Mo₂N) для системы Ti–Al–Mo–N и нитридно-металлическое (TiN, Mo₂N, Ni) для системы Ti–Al–Mo–Ni–N покрытия. Введение Ni в состав покрытия Ti–Al–Mo–N приводит к снижению среднего размера зерна нитридных фаз с 35 до 12 нм и периода модуляции с 50 до 35 нм за счет ограничения роста зародышей нитридных фаз. Одновременно с этим происходит снижение двухосных макронапряжений с σ = −2.51 ГПа для образца Ti−Al−Mo−N до σ = −0.67 ГПа для образца Ti−Al−Mo−Ni−N.

41 0