Статьи автора

Изменение рельефа поверхности кварцевого стекла при ультразвуковой обработке

Номер выпуска 3 от 01.03.2023

В работе приведены результаты определения изменений рельефа поверхности пластин из кварцевого стекла под действием ультразвуковых колебаний методом вариации Аллана. Применение этого метода позволило количественно оценить составляющие шероховатости, соответствующие поверхностным дефектам определенного размера. Показано, что длительная ультразвуковая обработка пластин из кварцевого стекла при плотности мощности излучения 10 Вт/см² приводит к существенному изменению поверхности: высота рельефа, связанная с мелкомасштабными поверхностными дефектами размером 0.125 мкм, увеличилась примерно на 40%, а с крупными дефектами (12 мкм) – уменьшилась примерно на 30%. Наблюдаемые изменения поверхности, по-видимому, связаны с кавитационным разрушением крупномасштабных поверхностных дефектов локальными кумулятивными струями.

74 0