Статьи автора

Исследование структуры и фазообразования <i>arc</i>-PVD-покрытий Zr–B–Si–C–Ti–(N)

Номер выпуска 2 от 01.02.2023

Покрытия систем Zr–B–Si–C–Ti и Zr–B–Si–C–Ti–N впервые были получены методом ионно-плазменного вакуумно-дугового осаждения в остаточной атмосфере аргона и азота. Покрытие Zr–B–Si–C–Ti характеризуется аморфно-нанокристаллической структурой. Нанокристаллиты формировались в системе Ti–B–C, а аморфная составляющая структуры образована фазами Zr–B–C и Si–C. Покрытие второй системы имеет преимущественно аморфную структуру (степень аморфизации ~85–93%), которая формируется на основе нитрида титана с наличием связей Ti–B и Ti–C, карбоборнитрида (Zr_x(C,N,B)_y), борида циркония и карбонитрида кремния.

48 0